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什么是微机电技术?微机电MEMS技术概述

文章出处:新闻动态 责任编辑:百世精工科技 发表时间:2023-04-28 14:18:54
  
  

       微机电系统或 MEMS 是一种技术,可以定义为晶圆级的微型机械和机电元件。这使得 MEMS 技术可以嵌入到可以集成在印刷电路上的芯片上,就像任何其他电子元件一样。


       设备由集成微电子控制下的机电元件(移动或不移动)组成。


       MEMS 的功能元件是微型结构、传感器、执行器和微电子器件。微型惯性传感器和微型执行器被归类为传感器,它们是将测量到的机械信号转换为电信号的设备。

MEMS微机电工作原理图

       微型传感器现在可用于各种测量,例如温度、压力、磁场或惯性测量。


我们的 IMU 选用了高质量的 MEMS 组件。与机械或 FOG 陀螺仪或伺服加速度计等竞争技术相比,这种 MEMS 技术具有许多优势:

      •微型设计提供更小、更轻的产品,从而涵盖新的应用。

      •该技术非常强大,可提供更高的抗震性和免维护操作。

      •与 FOG 或 RLG 等其他技术相比,MEMS 设计提供了具有成本效益的解决方案。


微机电性能

       尽管相同的 MEMS 技术也用于智能手机和平板电脑等消费类应用,但低成本 MEMS 和导航级 MEMS 传感器之间存在非常大的性能差距。 SBG Systems 只选择高性能传感器。


振动处理链接到振动处理

       SBG Systems IMU惯性测量单元传感器 专为恶劣环境而设计。具体的开发导致了有效的振动处理。当受到振动时,加速度计或陀螺仪会增加一些偏差。这种对加速度计的振动效应称为 VRE。因此,一个好的起点是选择具有低 VRE 的传感器,以承受更高水平的振动。第二点是设计高效的硬件和软件信号处理,特别是高频采样(>1kHz)将防止混叠问题并提高传感器数据分辨率。

       相关惯性传感器产品型号:3DMGX5-IMU3DM-CX5-IMU3DMCV5-IMU

陀螺仪的 MEMS 环 - 由 Silicon Sensing 提供

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